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跨越25年的历史，，， ，，，，，开启全球性企业新未来
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho 、Implant
特點：
綠色製造、全新系列幹式真空泵
體積小、耗工低、大幅度降低本钱
用於中度嚴苛制程的節能泵
產品樣本和技術手冊
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